อัลเอ็น อัลกาเอ็น

แอปพลิเคชัน

แบบอย่าง

ผลิตภัณฑ์

พารามิเตอร์

ทำหน้าที่เป็นวัสดุพื้นฐานหลักสำหรับไฟ LED อัลตราไวโอเลตระดับลึก- (DUV)

อุปกรณ์ไฟฟ้า อุปกรณ์ RF และอุปกรณ์ออปโตอิเล็กทรอนิกส์แนวหน้าอื่นๆ

อัลเอ็น เวเฟอร์

ขนาด: 2 นิ้ว (φ50.8 มม. ± 0.1 มม.)
พื้นผิว: แซฟไฟร์ขัดเงาด้านเดียว/คู่- (Al₂O₃)
ช่วงความหนา: 0.5 μm ถึง 5 μm
การวางแนวคริสตัล: ระนาบ C- (0001)
คุณภาพคริสตัล: ข้อกำหนด X- การเลี้ยวเบนรังสี (XRD) เต็มความกว้างที่ครึ่งหนึ่งสูงสุด (FWHM) ซึ่งสอดคล้องกับช่วงความหนาของ AlN:
ความหนา 0.5 - 1 μm: (002) ระนาบ FWHM น้อยกว่าหรือเท่ากับ 120 อาร์ควินาที; (102) ระนาบ FWHM น้อยกว่าหรือเท่ากับ 950 อาร์ควินาที
ความหนา 1 - 2 μm: (002) ระนาบ FWHM น้อยกว่าหรือเท่ากับ 120 อาร์ควินาที; (102) ระนาบ FWHM น้อยกว่าหรือเท่ากับ 600 อาร์ควินาที
ความหนา 2 - 3 μm: (002) ระนาบ FWHM น้อยกว่าหรือเท่ากับ 150 อาร์ควินาที; (102) ระนาบ FWHM น้อยกว่าหรือเท่ากับ 500 อาร์ควินาที
ความหนา 3 - 4 μm: (002) ระนาบ FWHM น้อยกว่าหรือเท่ากับ 180 อาร์ควินาที; (102) ระนาบ FWHM น้อยกว่าหรือเท่ากับ 400 อาร์ควินาที
ความหนา 4 - 5 μm: (002) ระนาบ FWHM น้อยกว่าหรือเท่ากับ 180 อาร์ควินาที; (102) ระนาบ FWHM น้อยกว่าหรือเท่ากับ 320 อาร์ควินาที
ขอบกะเทาะ/รอยแตกร้าว: น้อยกว่า 2 มม.
ความหยาบของพื้นผิว: Ra < 1.5 nm บนพื้นที่ 10 × 10 μm (วัดโดย AFM)
บรรจุภัณฑ์: สุญญากาศ-ปิดผนึกในสภาพแวดล้อมคลีนรูมคลาส 10,000 บรรจุในตลับ 25- ชิ้นหรือภาชนะเวเฟอร์เดี่ยว

AlN: พื้นผิวเรียบเป็นพิเศษ-

• ความหนาแน่นของข้อบกพร่องต่ำ

• สุญญากาศ-ปิดผนึก

เวเฟอร์ AlGaN

ขนาด: 2 นิ้ว (φ50.8 มม. ±0.1 มม.)
พื้นผิว: แซฟไฟร์ขัดเงาด้านเดียว/คู่- (Al₂O₃)
ช่วงความหนา: 5 นาโนเมตรถึง 3000 นาโนเมตร
การวางแนวคริสตัล: ระนาบ C- (0001)
Bandgap Energy: ปรับแต่งได้ตามความต้องการของลูกค้า (ผ่านการปรับแต่งองค์ประกอบ Al)
คุณภาพคริสตัล:ข้อกำหนดอ้างอิง (สำหรับ AlGaN 1.5 μm ที่มี Al 60%)
(002) ระนาบ XRD FWHM น้อยกว่าหรือเท่ากับ 350 อาร์ควินาที
(102) ระนาบ XRD FWHM น้อยกว่าหรือเท่ากับ 600 อาร์ควินาที
หมายเหตุ: คุณภาพคริสตัลเฉพาะ (ค่า XRD FWHM) ได้รับการปรับแต่งอย่างแม่นยำตามองค์ประกอบ Al จริงและความหนาของชั้น
ขอบกะเทาะ/รอยแตกร้าว: น้อยกว่า 2 มม.
บรรจุภัณฑ์: สุญญากาศ-ปิดผนึกในสภาพแวดล้อมคลีนรูมคลาส 10,000 บรรจุในตลับ 25- ชิ้นหรือภาชนะเวเฟอร์เดี่ยว

AlGaN: Bandgap ที่ปรับได้

• ความหนา 5 นาโนเมตร–3 ไมโครเมตร

• ข้อมูลจำเพาะ XRD แบบกำหนดเอง